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光学微电子净化工程

时间:2019-03-05 16:03:50
    净化方案一:
    组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
    这是一个最传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
    方案特点:
    A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;
    C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
光学微电子净化工程
    净化方案二:
    水冷柜机+增压风柜+高效送风口
    与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
    方案特点:
    这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
光学微电子净化工程
    净化方案三:
    分体空调柜机+FFU送风口
    这是最简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
    方案特点:
    A、无尘车间的洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
    B、温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
    C、新风量大
    D、送风量大

电子无尘净化车间洁净等级说明

等级 等级说明及车间应用
1级 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工 业,对集成电路的精确要求为亚微米
10级 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业
100级 很多人认为,这一级无尘车间是最常用因而是最重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗
1000级 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等
10000级 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,此外,万级无尘车间在医工业中也很常用
100000级 十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间

洁净室(区)空气洁净级别表

洁净度级别 尘粒最大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 ≥5μm尘粒数 微生物最大允许数浮游菌/立方米 沉降菌/皿
100级 3,500 0 5 1
10,000级 350,000 2,000 100 3
100,000级 3,500,000 20,000 500 10
300,000级 10,500,000 60,000 1000 15

光学微电子净化工程换气参数

换气次数: 100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次 压差: 主车间对相邻房间≥5Pa
平均风速: 10级、100级0.3-0.5m/s 温度: 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃
温度45-65%
GMP粉剂车间湿度在50%左右为宜
电子车间湿度略高以免产生静电
噪声: ≤65dB(A)
新风补充量: 新风补充量是总送风量的10%-30%
照度: 300LX

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